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日本CANON ANELVA真空計(jì)M-833HG

南京易鳴機(jī)電設(shè)備有限公司是一家集營銷的綜合型貿(mào)易公司，注冊(cè)資本300萬，公司擁有穩(wěn)定、高效、優(yōu)質(zhì)、快捷的供貨渠道。易鳴主營日本原裝全新的進(jìn)口工業(yè)泵、電磁閥、傳感器、UPS電源、流量計(jì)、加熱器、儀器儀表、連接器、變壓器、信號(hào)燈、壓力開關(guān)、工類耗材、機(jī)械設(shè)備及安全防護(hù)等，歡迎新老客戶來電或在線咨詢。
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南京易鳴銷售日本CANON真空計(jì)、離子規(guī) 原裝正品 品質(zhì)保證! 
產(chǎn)品品牌：日本CANON
產(chǎn)品名稱：真空計(jì)、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號(hào)如下所示：
特長:
ワイドな圧力測定範(fàn)囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側(cè)の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領(lǐng)域まで測定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信號(hào)出力は、100msec以內(nèi)と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設(shè)定モード
高圧力領(lǐng)域側(cè)での使用時(shí)のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能

特長:
豊富な外部制御機(jī)能により完全な遠(yuǎn)隔操作が可能
セットポイントを2點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)裝備
最大4ヶのオプションボード取付け可能で機(jī)能拡張性が充実
（注記：GP-IBオプションには未対応）
RoHS、CEマーキングに対応

用途:
自動(dòng)化真空裝置の圧力計(jì)測
スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
マルチチャンバシステムでの圧力測定
一般真空裝置の圧力測定

規(guī)格尺寸：
型　名 M-833HG
測定球 ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範(fàn)囲 0.1×10-7～9.9×100Pa
圧力表示 測定レンジ自動(dòng)切換
セットポイント 2點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)裝備（オープンコレクタ）
D/A出力 0～10V：仮數(shù)部出力、指數(shù)部出力
0～11V：複合出力又はLOG出力
アナログ出力 APCモード設(shè)定時(shí)（0.1～2.5V）
（エレクトロメータ出力） ノーマルモード設(shè)定時(shí)（0.1～1.6V）
INPUT フィラメントON/OFF
外部制御機(jī)能 デガスON/OFF
（リモート操作） 等6種類の外部制御機(jī)能
OUTPUT 6種類のステータス信號(hào)出力
特殊機(jī)能 APC対応：レンジホールド機(jī)能
エレクトロメータ出力機(jī)能
寸法/質(zhì)量 H99×W209×D330、1.9kg
所要電力 100～240VAC
100VA以下、50／60Hz
エミッション電流 10μA、100μA、1mA自動(dòng)切換設(shè)定又は固定設(shè)定
ガス出し グリッド通電加熱方式
フィラメント切換 キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護(hù) オーバーレンジ設(shè)定値又はエミッション電流±50%の変動(dòng)
標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)成 真空計(jì)本體（測定球及びケーブルは構(gòu)成品に含まれません）
RoHS，CEマーキング 対応